CO2 Bubbler 水中靜電破壞裝置
臭氧產生器 FA型
臭氧產生器 BA型
實驗室用臭氧發生機
EOWD臭氧水分解裝置 Ebara Ozone Water Decomposer
全自動晶圓旋乾設備 Auto Balance Spin Dryer
全自動濕式晶圓蝕刻機 (Wet Etch)
石英爐管洗淨機 Quartz Tube Cleane
主架構為CO2與純水混合裝置，目的藉由阻抗調整來抑制水中靜電產生所誘發的被洗淨物干擾與傷害，多用於洗淨製程靜電防止或二流體(Hyper Mix Jet)用。
臭氧發生器 Ozone Generator FA Series
產出物：Ozone Gas (可加裝氣液混合單元)
產生方式：雙重石英管放電式 Ozone Gas
濃度：200Ng/Nm3
特長：低汙染、高效率、Low CoO，兩年內設備免耗材交換，可組裝連結於各式設備本體。
臭氧產生裝置 BA型 產出物：Ozone Gas 產生方式：雙重石英管放電式 特長：僅需導入外氣，不需要純化氣體管路，節省操作成本與空間。 適合一般工業除臭、脫色與殺菌用
小型臭氧發生器 FAS Series 最大供給量：180 g/Nm3 適合耐候性實驗與其他氧化實驗專用小型發生器 配附專利石英放電管，耐久免維護。
Ebara製臭氧水分解裝置 EOWD Series 適用於高濃度臭氧水分解用，有效降低製程後的排水中殘存臭氧，避免廠務管路的氧化損害。 處理能力：> 90% (入口濃度為50ppm時) 最大處理量 : 50L/min